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WGR Readings: 154 Items 
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Description
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Units
LCL
UCL
Status
10/04/2026 19:37:013/1/4030/0/0/0_1st Flr: City Water Pressure69.1PSI4090OK
10/01/2026 18:57:154/1/5037/0/0/0_2nd Flr: AH Scrubber Signet pH8.3 7.59Inactive
10/04/2026 19:33:494/1/5031/0/0/0_2nd Flr: AH Scrubber Sump Pump Liquid Level1.0On/Off02OK
10/04/2026 19:22:564/1/5038/0/0/0_2nd Flr: AH1 Magnehelic 35% First Filter DP0.540InH2O01.5OK
10/04/2026 19:03:084/1/5039/0/0/0_2nd Flr: AH1 Magnehelic 95% Filter DP0.122InH2O01OK
10/04/2026 19:15:074/1/5042/0/0/0_2nd Flr: AH3 Magnehelic 10.064InH2O02OK
10/04/2026 19:26:574/1/5043/0/0/0_2nd Flr: AH3 Magnehelic 20.320InH2O02OK
08/14/2026 09:43:294/1/5030/0/0/0_2nd Flr: Cool Fogger WDR0.1 0100Inactive
09/30/2026 02:39:314/1/5032/0/0/0_2nd Flr: Rm 237 Fluid Level 10.0On/Off02Inactive
09/24/2026 13:08:194/1/5033/0/0/0_2nd Flr: Rm 237 Fluid Level 2_RH_TEST_%43.6 3060Inactive
10/04/2026 19:30:324/1/5035/0/0/0_2nd Flr: Rm 237 Light Sensor 20.0On/Off02OK
10/04/2026 19:27:304/1/5001/0/0/0_2nd Flr: Wet Scrubber Magnehelic1.54PSI0.81.75OK
10/01/2026 13:34:534/1/5036/0/0/0_2ND_Flr: AH Scrubber Signet Flow337.3PSI275800Inactive
10/04/2026 19:24:514/1/5034/0/0/0_ASML: Proc Gas Fault Alarm1.0On/Off0.51.2OK
09/24/2026 01:36:563/1/4033/0/0/0_CDA Flow (CFM): Equipment Pad1.7 0800Inactive
09/28/2026 23:41:013/1/4101/0/0/0_CDA Pressure130.0PSI90140Inactive
10/04/2026 19:35:240/1/1201/0/0/0_Cleanroom: Equip RH41% / 70.3F38 / 6542 / 75OK
10/04/2026 19:33:180/1/1054/0/0/0_Cleanroom: Rm 101C Rasco AC208V ON Light Indicator1.0On/Off02OK
10/04/2026 19:33:180/1/1054/0/0/1_Cleanroom: Rm 101C Rasco START Light Indicator1.0On/Off02OK
10/04/2026 18:44:094/1/5041/0/0/0_Cleanroom: Rm 101C_Argon_1050112591PSI2003000OK
10/04/2026 19:31:034/1/5040/0/0/0_Cleanroom: Rm 101C_Oxygen_105010359PSI2003000OK
10/04/2026 19:29:180/1/1055/0/0/0_Cleanroom: Rm 101D Haskris Building Water Fault Indicator0.0On/Off02OK
09/24/2026 13:08:194/1/5033/0/0/1_Cleanroom: Rm Test RH (Percentage)0.000(BLANK)050Inactive
10/04/2026 19:28:273/1/4031/0/0/0_DI-RO: Light Sensor0.0On/Off02OK
10/04/2026 19:31:513/1/4017/0/0/0_DI-RO: Resistivity Gauge #182,621.7Ohm-cm14100Upper Ctl Limit
10/04/2026 19:36:293/1/4019/0/0/0_DI-RO:DI Water Tank Pressure (Tank 2)5.69PSI410OK
10/04/2026 19:37:123/1/4018/0/0/0_DI-RO:RO Water Tank Pressure (Tank 1)7.53PSI410OK
10/04/2026 19:26:180/1/1065/0/0/0_GPN2 Pressure Gauge After Filters130.5PSI0400OK
10/04/2026 19:27:033/1/4015/0/0/0_House Vacuum-25.80inHg-30-23OK
10/04/2026 19:29:343/1/4016/0/0/0_House Vacuum: Water Circ Pump Temp68.7DEG F085OK
10/04/2026 19:32:253/1/4002/0/0/0_LN2_Tanks_LI-1-1218.2InH2O0300OK
10/01/2026 05:00:463/1/4004/0/0/0_LN2_Tanks_LI-1-2181.6InH2O0300Inactive
10/04/2026 19:34:323/1/4006/0/0/0_LN2_Tanks_LI-1-389.8InH2O0300OK
10/04/2026 19:27:363/1/4001/0/0/0_LN2_Tanks_PI-1-1147.4PSI118300OK
10/04/2026 19:27:333/1/4003/0/0/0_LN2_Tanks_PI-1-258.1PSI0300OK
10/04/2026 19:35:413/1/4005/0/0/0_LN2_Tanks_PI-1-3151.6PSI118300OK
10/04/2026 19:24:150/1/1060/0/0/0_N2 Pressure Gauge Canon EX3 Stepper_Chase 121100.0PSI0110OK
10/04/2026 19:33:033/1/4020/0/0/0_PCW: Lower Temp Gauge49.4DEG F052OK
10/04/2026 19:26:333/1/4009/0/0/0_PCW: Middle Pressure Gauge80.8PSI6794OK
10/04/2026 19:32:593/1/4008/0/0/0_PCW: Upper Temp Gauge57.0F0160OK
10/04/2026 19:32:160/1/1061/0/0/0_Pressure Gauge At EMN2 Shut Off_East Wall120.1PSI0135OK
10/04/2026 19:27:283/1/4032/0/0/0_RO: Flow to 2361.18GPM0100OK
10/04/2026 19:32:370/1/1062/0/0/0_Tank 47 GPN2133.83PSI90400Error-28
10/04/2026 19:31:590/1/1064/0/0/0_Tank 47 UHPN2120.3PSI90400OK
10/04/2026 19:35:140/1/1063/0/0/0_UHPN2 Pressure Gauge After Filters114.369PSI0125OK
10/04/2026 19:25:320/1/1006/0/0/0C_AJA UHV Ebeam_122_Ar_1052882669PSI2002800OK
10/04/2026 19:36:500/1/1012/0/0/0C_AJACovaporator_129_Ar_1052491013PSI2002800OK
10/04/2026 19:34:080/1/1016/0/0/0C_Beneq ALD Deposition_132_Ar_1052501975PSI3002800OK
10/04/2026 19:27:220/1/1101/0/0/0C_Cabinet2_Gas Bunker_100% Silane_102089731PSI1501000OK
10/04/2026 19:35:290/1/1102/0/0/0C_Cabinet2_Gas Bunker_2% Silane_102089560PSI2003000OK
10/04/2026 19:33:390/1/1103/0/0/0C_Cabinet3_Gas Bunker_Ethylene_102090653PSI4003000OK
10/04/2026 19:35:020/1/1021/0/0/0C_DDC_133_CO2_105376820PSI3502800OK
10/04/2026 19:34:520/1/1022/0/0/0C_DDC_133_O2_1053752004PSI3002800OK
10/04/2026 19:32:570/1/1004/0/0/0C_EX3_121_F 0.95%/Kr 1.25%/Ne Balance_2008PSI3002800OK
10/04/2026 19:32:290/1/1003/0/0/0C_EX3_121_He_451PSI2002800OK
10/04/2026 19:30:120/1/1002/0/0/0C_EX6_102_He_NoPVS2061PSI2002800OK
10/04/2026 19:23:130/1/1001/0/0/0C_EX6_102_Kr 1.25%/Ne Balance_NoPVS161PSI3002600Lower Ctl Limit
10/04/2026 19:27:580/1/1014/0/0/0C_FC300 Flip Chip Bonder_132_4% H2/He_105254927PSI3003000OK
10/04/2026 19:26:260/1/1009/0/0/0C_General Use ICP Etchers_126_Ar_1050081899PSI2002800OK
10/04/2026 19:33:350/1/1008/0/0/0C_General Use ICP Etchers_126_He_1050091752PSI2002800OK
10/04/2026 19:31:500/1/1023/0/0/0C_HummerSputteringSystem_137_Ar_1052551003PSI2002800OK
10/04/2026 19:35:060/1/1011/0/0/0C_IR Group ICP Etcher_126_Ar_1052822095PSI2002800OK
10/04/2026 19:35:160/1/1010/0/0/0C_IR Group ICP Etcher_126_He_105284571PSI2002800OK
10/04/2026 19:37:030/1/1015/0/0/0C_Ontos 7 Oxide Removal_132_He_1052531241PSI2002800OK
10/04/2026 19:23:310/1/1018/0/0/0C_Oxford HD PECVD_133_Ar_1052691664PSI2002800OK
10/04/2026 19:32:050/1/1019/0/0/0C_Oxford HD PECVD_133_He_105270711PSI2002800OK
10/04/2026 19:35:470/1/1020/0/0/0C_Oxford HD PECVD_133_SF6_105271294PSI140350OK
10/04/2026 19:35:210/1/1013/0/0/0C_PlasmaTech Orange RIE_130_Ar_1052721618PSI2002800OK
09/30/2026 02:08:270/1/1106/0/0/0C_PlasmaTherm PECVD & High Density ICPCVD_138_Cylinder Pressure_N2O785PSI2003000Inactive
10/04/2026 19:26:370/1/1026/0/0/0C_PlasmaTherm PECVD & High Density ICPCVD_138_Line Pressure_N2O18PSI525OK
10/04/2026 19:34:030/1/1027/0/0/0C_PlasmaTherm PECVD_138_CF4/Oxygen 8% NOS_1052601831PSI3504000OK
10/04/2026 19:22:460/1/1028/0/0/0C_PlasmaTherm PECVD_138_He_1052591600PSI2004000OK
10/04/2026 19:36:110/1/1017/0/0/0C_RTP_121_N2/5% H2_NoPVS1702PSI5003000OK
10/04/2026 19:31:310/1/1007/0/0/0C_STJ Fluorine RIE & Apex ICP_125_Ar_105243877PSI2002800OK
10/04/2026 19:36:120/1/1029/0/0/0C_STS Deep Trench DRIE_138_Ar_1052661290PSI2004000OK
10/04/2026 19:24:380/1/1024/0/0/0C_STS Deep Trench DRIE_138_C4F8_10261320PSI5300OK
10/04/2026 19:36:390/1/1030/0/0/0C_STS Deep Trench DRIE_138_He_105265473PSI2004000OK
10/04/2026 19:31:290/1/1025/0/0/0C_STS Deep Trench DRIE_138_SF6_NoPVS219PSI2003000OK
10/04/2026 19:33:290/1/1035/0/0/0C_Supply_Pressure_152_Near_CHF3640PSI1501500OK
10/04/2026 19:36:270/1/1104/0/0/0C_SystemA_Gas Bunker_H2_102092980PSI5003000OK
10/04/2026 19:30:300/1/1105/0/0/0C_SystemB_Gas Bunker_H2_1020932099PSI5003000OK
10/04/2026 19:03:030/1/1056/0/0/1C_Weigh_Scale_122_Not_Connected_CH20.2LBS0300OK
10/04/2026 19:29:240/1/1041/0/0/1C_Weigh_Scale_125_CCL2F218.0LBS5300OK
10/04/2026 19:29:240/1/1041/0/0/0C_Weigh_Scale_125_CF410.7LBS3300OK
10/04/2026 19:22:210/1/1040/0/0/0C_Weigh_Scale_125_CHF322.4LBS3300OK
10/04/2026 19:22:210/1/1040/0/0/1C_Weigh_Scale_125_SF633.2LBS3300OK
10/04/2026 19:30:500/1/1051/0/0/1C_Weigh_Scale_126_Not_Connected0.0LBS0300OK
10/04/2026 19:30:500/1/1051/0/0/0C_Weigh_Scale_126_SF611.03LBS3300OK
10/04/2026 19:28:490/1/1049/0/0/1C_Weigh_Scale_130_2nd CHANNEL NOT IN USE0.0LBS0300OK
10/04/2026 19:22:570/1/1050/0/0/0C_Weigh_Scale_130_CF421.0LBS3300OK
10/04/2026 19:22:570/1/1050/0/0/1C_Weigh_Scale_130_Not_Connected0.1LBS0300OK
10/04/2026 19:28:490/1/1049/0/0/0C_Weigh_Scale_130_SF6_Cobra Oxford ICP Etcher6.18LBS3300OK
10/04/2026 19:34:130/1/1046/0/0/0C_Weigh_Scale_138_C4F829.9LBS3300OK
10/04/2026 19:22:390/1/1042/0/0/0C_Weigh_Scale_138_Dichlorosilane9.4LBS5300OK
10/04/2026 19:28:140/1/1045/0/0/0C_Weigh_Scale_138_HBr16.1LBS220OK
10/04/2026 19:22:390/1/1042/0/0/1C_Weigh_Scale_138_Not_Connected0.3LBS0300OK
10/04/2026 19:34:130/1/1046/0/0/1C_Weigh_Scale_138_SF62.36LBS3300Lower Ctl Limit
10/04/2026 19:28:140/1/1045/0/0/1C_Weigh_Scale_138_T30_Not_Connected0.0LBS0300OK
10/04/2026 19:35:430/1/1053/0/0/1C_Weigh_Scale_143A_C4F88.2LBS3300OK
10/04/2026 19:35:430/1/1053/0/0/0C_Weigh_Scale_143A_SF625.7LBS3300OK
10/04/2026 19:31:570/1/1052/0/0/0C_Weigh_Scale_152_Far C4F892.9LBS3300OK
10/04/2026 19:16:190/1/1047/0/0/1C_Weigh_Scale_152_Far_CF416.1LBS3300OK
10/04/2026 19:16:190/1/1047/0/0/0C_Weigh_Scale_152_Far_CHF315.4LBS3300OK
10/04/2026 19:35:290/1/1044/0/0/1C_Weigh_Scale_152_Near_C4F817.5LBS3300OK
10/04/2026 19:29:520/1/1043/0/0/1C_Weigh_Scale_152_Near_CF417.4LBS3300OK
10/04/2026 19:29:520/1/1043/0/0/0C_Weigh_Scale_152_Near_CHF327.8LBS3300OK
10/04/2026 19:31:570/1/1052/0/0/1C_Weigh_Scale_152_Not_Connected0.2LBS0300OK
10/04/2026 19:24:580/1/1048/0/0/0C_Weigh_Scale_CH 130_BCL34.58LBS3300OK
10/04/2026 19:25:540/1/1039/0/0/0C_Weigh_Scale_CH 130_Chlorine13.92LBS5300OK
10/04/2026 19:03:030/1/1056/0/0/0C_Weigh_Scale_Chase 122_SAMCO RIE_CF416.71LBS3300OK
10/04/2026 19:35:290/1/1044/0/0/0C_Weigh_Scale_Versaline DRIE_152_Near_SF612.02LBS3300OK
10/04/2026 19:24:580/1/1048/0/0/1CHANNEL NOT IN USE0.0LBS00OK
10/04/2026 19:25:540/1/1039/0/0/1CHANNEL NOT IN USE0.0LBS00OK
 3/1/4304/0/0/0Flow Meter_Not Installed Ch 1 GPM  No Data
 3/1/4304/0/0/1Flow Meter_Not Installed Ch 2 GPM  No Data
 0/1/1202/0/0/0High Precision Humidity Sensor_Not Installed mAMPS  No Data
 0/1/1202/0/0/1High Precision Temperature Sensor_Not Installed mAMPS  No Data
 0/1/6006/0/0/0WDR 6006    No Data
 0/1/6007/0/0/0WDR 6007    No Data
 0/1/6008/0/0/0WDR 6008    No Data
 0/1/6009/0/0/0WGR 6009    No Data
 0/1/6011/0/0/0WGR 6011    No Data
 0/1/6013/0/0/0WTR 6013 V  No Data
 0/1/6013/0/0/1WTR 6013 CH2 V  No Data
 0/1/6014/0/0/0WTR 6014 V  No Data
 0/1/6014/0/0/1WTR 6014 CH2 V  No Data
 0/1/6015/0/0/0WTR 6015 V  No Data
 0/1/6015/0/0/1WTR 6015 CH2 V  No Data
 0/1/6016/0/0/0WTR 6016 V  No Data
 0/1/6016/0/0/1WTR 6016 CH2 V  No Data
 0/1/6017/0/0/0WTR 6017 V  No Data
 0/1/6017/0/0/1WTR 6017 CH2 V  No Data
 0/1/6018/0/0/0WTR 6018 V  No Data
 0/1/6018/0/0/1WTR 6018 CH2 V  No Data
 0/1/6019/0/0/0WTR 6019 V  No Data
 0/1/6019/0/0/1WTR 6019 CH2 V  No Data
 0/1/6021/0/0/0WTR 6021 V  No Data
 0/1/6021/0/0/1WTR 6021 CH2 V  No Data
 0/1/6022/0/0/0WTR 6022 V  No Data
 0/1/6022/0/0/1WTR 6022 CH2 V  No Data
 0/1/6023/0/0/0WTR 6023 V  No Data
 0/1/6023/0/0/1WTR 6023 CH2 V  No Data
 0/1/6024/0/0/0WTR 6024 V  No Data
 0/1/6024/0/0/1WTR 6024 CH2 V  No Data
 0/1/6025/0/0/0WTR 6025 V  No Data
 0/1/6025/0/0/1WTR 6025 CH2 V  No Data
 0/1/6026/0/0/0WTR 6026 V  No Data
 0/1/6026/0/0/1WTR 6026 CH2 V  No Data
 0/1/6027/0/0/0WTR 6027 V  No Data
 0/1/6027/0/0/1WTR 6027 CH2 V  No Data
 0/1/6028/0/0/0WTR 6028 V  No Data
 0/1/6028/0/0/1WTR 6028 CH2 V  No Data
 0/1/1005/0/0/0Z_(not installed - interference) mAMPS  No Data
 0/1/1031/0/0/0Z_STS Deep Trench DRIE_138_4% NOS_Not_Installed    No Data